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第83章 nm光刻机(第3页)

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当“弑神”

光源、“洞察之眼”

镜头和“微影之握”

工艺逐渐成熟,将它们整合成一台全新的、庞杂而精密的机器,成为了最后的挑战。

在“龙脊”

工业园一座新建的、抗震、恒温恒湿、洁净度达到10级(每立方英尺内粒径≥05μ的尘埃粒子少于10个)的超净车间内,华盟的第一台198n步进扫描投影光刻机——“烛龙-ii型”

,完成了最后的总装和调试。

它比“烛龙-i型”

庞大得多,结构也复杂得多。

巨大的激光器单元被安置在角落,通过复杂的光路系统将激光引导至掩模版和镜头。

精密工件台在磁悬浮导轨上高速且平稳地运动。

整个系统被包裹在金属外壳内,充满了未来科技感。

首次流片(试生产)日。

硅魂推了推空气眼镜,手指微微颤抖地按下了启动按钮。

激光器发出低沉的嗡鸣,光路接通,工件台开始精准移动。

所有人都屏息凝神,透过观察窗看着内部那肉眼不可见的、在硅片上雕刻微观世界的宏大过程。

几个小时后,第一片晶圆完成了所有工序。

它被迅速送入检测室,放在一台同样刚刚攻关完成的、更高倍的扫描电子显微镜(se)下。

当图像清晰地显示在屏幕上时,整个监控室鸦雀无声,随后爆发出难以置信的欢呼!

屏幕上,清晰地排列着线宽仅为018微米(180纳米)的晶体管栅极!

线条清晰,边缘锐利,均匀性远超“烛龙-i”

的产物!

“成功了!

我们做到了!

198n!

018微米!”

硅魂激动得声音嘶哑,几乎要跳起来。

老李用力拍着硅魂的肩膀:“好小子!

真有你的!

这玩意比造火箭发动机还精细!”

山猫看着那微观图像,冷静地评价:“这意味我们的计算设备性能将提升一个数量级,加密、控制、通信能力将全面飞跃。”

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