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第16章 研发进度(第1页)

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不知不觉中,时光飞逝,春节眼看著临近了。

徐卫国今年肯定是没办法回家过年了,只好写了一封信寄回家,免得家里人担心。

当然,他在干什么肯定是不能说的,只说自己要在学校多学点东西。

值得一提的是,徐卫国前不久已经拿到了京大的毕业证,並正式成为了科学院物理所的一员,果然是三级研究员。

月底,他还拿到了自己的第一笔工资,一百七十五元。

拿出一百块还给了张希德,剩下的钱他给自己买了几身內外衣服,转眼又花了个乾净。

好在他吃住都有公家管著,平时也基本不花什么钱。

除夕这天,徐卫国给团队所有人放了两天假,没日没夜的忙活了一个多月,春节再不让放鬆一下也实在说不过去。

毕竟,这项目並没有一个期限限制,没必要赶那么急。

左右也是无事,徐卫国乾脆又去了周家,借宿两天,算是把这个年给过了。

……

过完年,徐卫国又带领团队投入了紧张的研发过程中。

三月初,各项研发工作开始进入收穫期。

第一个完成的分项目是光刻胶,在进行大量实验后,团队先是成功製取出了苯乙烯-丁二烯共聚物(sbr),这是第一代光刻胶的主要成分。

仅仅一周后,他们又製取出甲基丙烯酸甲酯作为交联剂,解决了光刻胶易变黄的问题。

至此,第一代光刻胶的研发工作正式完成。

第二个完成的分项目是扩散炉,它用於扩散工艺,作用是將杂质元素引入硅片以形成pn结或电阻等元件。

隨后,氧化设备,蒸发台、外延生长设备、研磨拋光设备等项目也相继完成研发。

到五月时,所有项目就只剩下光刻机还没有完成了。

而光刻机这个大系统中,所有分系统其实都已经做出来了,问题卡在精度上。

如果现有分系统直接组装起来投入使用,光刻机的定位精度將低於五微米,曝光图形精度(线宽)则在十微米级別,这个水平远远达不到徐卫国的预期,距离歷史上第一台商业化光刻机精度也差的太远。

徐卫国当然是不甘心拿个次品出来的,他寧愿把研发时间拉长,继续精雕细琢。

这一拖,就拖到了七月。

这天上午,晴空万里,徐卫国照例待在实验室,亲自参与光刻机的调试改进。

正忙著,实验室门口突然来人了。

却是所长严纪慈。

此时的徐卫国正坐在显微镜前观察刚製作出来的掩模版,严纪慈並未打扰他,只是在一旁站著观看。

直到徐卫国从显微镜前站起来,跟一旁的同伴吩咐了几句,一转身,这才看到严纪慈。

“所长!

您什么时候来的。”

严纪慈笑道:“我也刚来没多久。

……你们这確实是凉快啊!

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