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“思华,你这一步,走得很险。”
陈思华低下头:“总理事,我知道。
但华讯是我们的客户,也是我们的朋友。
朋友有难,我们不能袖手旁观。”
陈启点点头:“我没有怪你。
我只是问你,光刻机什么时候能成?”
陈思华说:“山田先生的学生们说,半年。”
“半年?”
陈启盯着他的眼睛,“你确定?”
陈思华没有退缩:“确定。
他们已经在做最后的测试了。
如果一切顺利,九月之前,极紫外光刻机可以量产。”
陈启沉默了片刻:“好。
半年,我等你。”
四月至八月,攻关。
山田一郎的学生们,把实验室当成了家。
首席工程师叫林志宏,三十八岁,是林文正的儿子,林志远的弟弟。
他带着二十多个年轻人,三班倒,日夜不停。
最难的是光源。
极紫外光的产生,需要用高能激光轰击锡滴。
锡滴只有几十微米大,激光需要精确聚焦。
一次轰击产生极紫外光,效率只有百分之几。
大部分能量变成了热量,把光学器件烤得变形。
他们试了几百种方案,失败了无数次。
“林工,”
一个年轻工程师说,“我们是不是走错了路?”
林志宏摇头:“没有走错。
只是还没走到。”
七月,光源功率突破了一百瓦,但寿命只有五千小时。
八月,寿命突破了八千小时,但功率降到了八十瓦。
八月底,功率和寿命同时达标:一百瓦,一万小时。
林志宏看着测试数据,手在抖。
asl的光刻机,也是一百瓦,一万小时。
“成了。”
他说。
九月一日,兰芳半导体公司召开记者会。
陈思华站在台上,身后的大屏幕上显示着极紫外光刻机的照片。
那是一台巨大的设备,体积比asl的还大一圈,外观也更粗糙。
但它是兰芳自己造的。
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