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六月的深圳,空气湿热得如同蒸笼。
唐静荷站在“星火工厂”
洁净室的观察窗外,额角渗出细密的汗珠,工装衬衫后背早已被汗水浸透。
他没有动,只是盯着那台正在缓缓开启舱门的光刻机??这是国产EUV光源首次接入整机系统,标志着“逐日计划”
从理论验证正式迈入工程集成阶段。
“压力稳定,真空度达标。”
技术人员的声音透过耳机传来,“准备启动等离子体激发程序。”
唐静荷深吸一口气,点了点头:“开始。”
刹那间,幽蓝的激光束刺穿黑暗,在锡滴靶材上炸开一团炽烈的极紫外光。
监控屏上的功率曲线猛然跃升:120W……180W……230W……最终定格在**256W**,持续输出超过三十分钟,波形平稳如初。
实验室爆发出压抑已久的欢呼声。
有人跳起来抱住同事,有人眼眶泛红地低头抹泪。
这束光,不只是技术突破,更是中国半导体人被封锁十年后终于挺直的脊梁。
“告诉李维森院士团队,”
唐静荷声音沙哑,“他们点亮的不是光源,是未来二十年的技术主权。”
当晚,他没有回市区,而是留在厂区简陋的宿舍里。
窗外雨声淅沥,雷鸣滚滚,仿佛天地也在为这场胜利震荡。
他翻开黑色笔记本,写下新一页:
>2011年6月9日,EUV光源连续运行32分钟,输出功率256W。
>这束光,照进了过去我们认为永远无法触及的黑暗。
>可我知道,真正的挑战才刚刚开始??
>光源可以复制,但经验无法搬运;
>设备能够组装,但工艺需要时间沉淀。
>我们要的不是一台机器,而是一整套生态。
>愿我们始终清醒,不因一次突破而自满。
第二天清晨,崔倩打来电话,语气急促:“唐总,ASML突然宣布降价30%出售两台二手EUV光刻机给韩国三星,并附带五年免费维护和技术支持。
业内传言,这是针对我们的反制动作。”
唐静荷听完,沉默片刻,忽然笑了:“他们怕了。
怕我们真的不用他们的设备也能走通这条路。”
“可资本市场已经开始动摇。”
崔倩担忧道,“有分析师称‘中国自研EUV是政治秀’,认为我们不可能在五年内实现量产,建议投资者撤离相关产业链股。”
“那就让他们撤。”
他平静地说,“真正相信技术的人,从来不会看K线图做决定。
通知全集团:研发投入不减反增,‘逐日计划’预算上调40%,所有核心岗位薪资翻倍锁定人才。
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