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第345章 首要目标(第2页)

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“业内,普遍有一种认知,如果不早点推出极紫外光刻技术,来对当前的芯片制造方法做出全面的改进,将使整个芯片工业处在岌岌可危的地步。”

“所以,其实新时代的节点,变革点,已经能够清晰的预见。”

“极端紫外光刻技术所使用的光刻机的对准套刻精度要达到10n,其研发和制造原理实际上和传统的光学光刻在原理上十分相似。”

“对光刻机的研究重点,是要求定位要极其快速精密,以及逐场调平调焦技术。

因为光刻机在工作时拼接图形,和步进式扫描曝光的次数很多。

不仅如此,入射对准光波信号的采集,以及处理问题还需要解决。”

“euv技术的进展还是比较缓慢的,投资巨大。

当前,其实没有几家厂商,能够将这项技术应用于生产中。

唯一的al公司,做出来的东西,也仅仅算是勉强能用。”

“各家厂商都清楚,半导体工艺向往下刻,使用euv技术是必须的。

波长越短,频率越高,光的能量正比于频率,反比于波长。”

“但是因为频率过高,传统的光溶胶直接就被打穿了。

现在,半导体工艺的发展已经被许多物理学科从各个方面制约了。”

“现在的问题的是,第一,euv光刻机造价太高,好几千万优元。”

“第二,没有真正合适的光源。”

“第三,没有合适的掩模。

第四,未研发出合适的光刻胶!”

“所以,我是打算,咱们可以在光源上,琢磨琢磨。”

说道这里,辛启天颇有些意犹未尽舔了下嘴角,眼神放光的说道:“其实如果不考虑整体行业发展,我个人,更想去研究电子束光刻。”

“用电子源发出电子束,经过掩膜和电子透镜,将图案投射到硅片上,从而形成电子线路!”

“但是,电子束高精度扫描成像曝光效率低。

在抗蚀剂和基片中的散射和背散射现象,造成的邻近效应。

以及其他很多问题。”

“整个行业,目光都不聚集在这里。”

“领先一步是天才,领先十步就是疯子。”

“不过,我对这东西,非常感兴趣。

如果能做的好,可以应用于量子元器件等等生产。

甚至,还可以搞粒子束武器。”

停顿了片刻,最终,辛启天还是没有把内心深处的想法说出来。

那就是,电子束如果技术进一步成熟,完备到最基础的粒子阶段。

对于他搞出来的常温超导体生产制造,应该是有一定帮助。

或许可以摆脱巨大能耗,来保持超导体状态的机器桎梏。

当然,仅仅是有可能。

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