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第57章 从零到一(第3页)

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写在试卷上。

然而,当他动笔时却突然僵住了。

“等等……”

“要微调λ,雷射器必须要接收到一个精准的控制指令,这个指令从哪来?”

题目要求响应速度≤1ms,且不能有任何与晶圆表面直接接触的部件。

这意味著,用接触式温度传感器实地测量水温的方案完全不可行,响应速度不达標呀。

“唯一的办法是……前馈控制!”

李东无短板的0.2属性开始发挥作用。

“必须提前建立一个精准的映射模型。”

“这套系统的所有核心工况参数现在都是已知的。”

“我只需要通过预实验,標定出不同工况参数组合下,曝光狭缝內浸没液的瞬態温升Δt,再通过超纯水的折射率温度係数,推导出对应的Δn,最后直接把这个预標定的补偿值同步反馈给雷射器,让它在雷射出光的瞬间,同步完成Δλ的调整!”

想通了这一层,李东却感到一阵深深的无力感。

要建立这个无延迟的前馈预测模型,核心是什么?

是要精准描述高速扫描边界下,雷射能量沉积、浸没液流动与瞬態热传导的耦合关係。

本质上就是要对(n-s方程)与瞬態热传导方程进行强耦合求解,建立起工况参数与Δn之间的精准数值映射。

李东看著草稿纸上自己列出的流体控制方程,苦笑了一声。

他懂波动光学,懂经典力学,懂热力学基本定律。

但他没有系统学过计算流体力学,也还没有掌握处理这种强非线性偏微分方程组的数值求解工具。

他能写出方程的形式,却无法完成工程化的模型標定与求解。

“陈老师说得对,我的知识,果然是一座座孤岛。”

“得早点把桥造好了……陈老师造的还是太过简陋了。”

李东放下笔,嘆了口气。

“切入点我找到了,光学的核心原理完全通顺,工程实现的路径也清晰了,但落地的最后一步『流热耦合前馈模型的构建与求解』,超出了我现在的能力极限。”

他没有强行去瞎编自己不懂的数学公式。

只是坦然的在答题区写下了自己的思路。

在最后,还补充说明道:

【工程实施瓶颈:为实现全工况下的精准补偿,需构建纳维-斯托克斯方程与瞬態热传导方程强耦合的流热耦合数值模型,完成映射关係的精准標定与求解。

【由於本人目前缺乏该类非线性偏微分方程组的数值求解能力与工程標定条件,该控制算法模型无法完成具体构建,故本题解答至此为止。

李东合上笔盖,嘆了口气。

“羊毛还是薅少了点呀。”

然而此时的李东还没意识到,他完成的是怎样关键打的一步,这是从0到1呀!

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