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“设两束波长为λ的相干光，对称入射至光刻胶表面……”
“利用空间几何约束，干涉条纹周期d=λ（2sinθ）……”
“亚波长解析度验证……”
张默是越看越心惊，越看越精神。
这个学生的解法，虽然用的是高中物理的简谐波叠加公式，没有用到他们工程中那些复杂的傅立叶光学变换和矢量衍射理论。
但是！
逻辑上却挑不出一点毛病。
而且结尾的备註更是让他眼前一亮。
【註：此方案可以省去高精度掩模版製造的环节，而且不需要投影物镜组，虽然对光源相干性与相位稳定性要求较高，但在周期性微纳结构的小批量高精度製造中，成本优势巨大。
】
“嘶。”
张默咽了咽口水，忍不住喝了一口桌上的咖啡。
“有灵性，这是真的懂行。”
这个学生准確的抓住了“无掩模”
和“去透镜化”
这两个降本增效的关键点。
张默在心里快速估算了一下。
如果按照这个学生简化的思路，去搭建一个用於特定製程的中试线。
省去了千万级的投影物镜，省去了百万级的掩模版套组。
“高相干稳频光源成本虽然会提升2倍左右，但整体bom成本……至少能下降40%！”
他自己都有些惊疑不定了。
“真的假的？”
他快速抽出一张a4纸，飞快的验算起来。
Δcost≈cost_laser_stable-（cost_projection_lens+cost_mask_set）
他在纸上画出了几个简易的模块图，嘴里念念有词。
“如果用他在题里提到的『分光稜镜』做相干分光，配合平面反射镜做光路摺叠，机台的体积还能再缩小……”
如果按照这个学生简化的思路去搭建实验台，成本比他们现在用的那套设备，起码还要低10%~15%。
“不行，得让组里的人先做个模擬！
顺著这个高中物理的思路，看看能不能把那个该死的『相位锁定模块』给简化掉！”
张默此时已经顾不上什么阅卷纪律了，他拿著试捲起身就向外走去。
旁边的教授诧异道。
“张工，你去哪？卷子还没改完呢。”
张默就像没听见一样，嗯，他確实是没听见，现在他满脑子都是降低成本。
留下几个阅卷老师面面相覷。
“怎么了这是？”
“不知道啊……”
大家议论了下也就继续批改手中的试卷了，谁还没有个改卷改到奔溃的时候呢。
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